산업통상부 · 2026년
Stand-alone 고출력 EUV 검사기 장비 기술 개발 및 EUV 검사기 인프라 구축을 통해 반도체산업의 국내 기술경쟁력 성장과 첨단 반도체 핵심기술 초격차 확보.
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